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Characterization of reclaimed GaAs substrates and investigation of reuse for thin film InGaAlP LED epitaxial growth

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Author: M. Engelhard, C. Klemp, M. Behringer, A. Rudolph, Oliver Skibitzki, Peter Zaumseil, Thomas Schröder
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4955333
ISSN:1089-7550
ISSN:0021-8979
Title of the source (English):Journal of Applied Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:120
Issue number:4
First Page:045301
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
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