Modelling and experimental verification of the 300mm Ar Anneal Process
Author: | T. Müller, R. Wahlich, P. Krottenthaler |
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Contributor(s): | Johannes Studener, Arnold Kühhorn |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | English |
Year of publication: | 2005 |
Tag: | 300mm; Anneal Process |
Quelle aus UBICO: | European Material Research Society (E-MRS) Tagung, Spring Symposium D, Straßburg |
Faculty/Chair: | Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen |