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Modelling and experimental verification of the 300mm Ar Anneal Process

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Metadaten
Author: T. Müller, R. Wahlich, P. Krottenthaler
Contributor(s): Johannes Studener, Arnold Kühhorn
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2005
Tag:300mm; Anneal Process
Quelle aus UBICO:European Material Research Society (E-MRS) Tagung, Spring Symposium D, Straßburg
Faculty/Chair:Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen
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