Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente
Author: | Henning Heuer |
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URN: | urn:nbn:de:kobv:co1-opus-10 |
Document Type: | Doctoral thesis |
Language: | German |
Year of publication: | 2006 |
Tag: | Diffusionsbarrieren; Dünne Schichten; Flexible Solarzellen; Solarzelle; Tantal; Tantal-Silizium; Verkapselung |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikroelektronik |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Mikroelektronik |