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Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente

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Metadaten
Author: Henning Heuer
URN:urn:nbn:de:kobv:co1-opus-10
Document Type:Doctoral thesis
Language:German
Year of publication:2006
Tag:Diffusionsbarrieren; Dünne Schichten; Flexible Solarzellen; Solarzelle; Tantal; Tantal-Silizium; Verkapselung
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikroelektronik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Mikroelektronik
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