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Light Induced Crystallization of an Amorphous Silicon Film Embedded Between Silicon Oxide Layers

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Metadaten
Author: Martin Schade, Teimuraz Mchedlidze, Martin Kittler, Hartmut S. Leipner
DOI:https://doi.org/10.1002/pssb.201349143
Title of the source (English):Physica Status Solidi B
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2014
Contributing Corporation:MLU Halle, TU Dresden, IHP
Volume/Year:251
Issue number:2
First Page:439
Last Page:445
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Schaltkreisentwurf
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Schaltkreisentwurf
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