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Electron dynamics in low pressure capacitively coupled radio frequency discharges

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Author: Sebastian Wilczek, Julian SchulzeORCiD, Ralf Peter Brinkmann, Zoltan Donkó, Jan TrieschmannORCiD, Thomas MussenbrockORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1063/5.0003114.1
Title of the source (English):Journal of Applied Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2020
Volume/Year:127
Issue number:18
Article number:181101
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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