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Electron power absorption dynamics and ion energy distributions in capacitive discharges driven by customized voltage waveforms in argon and CF4

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Author: Birk BergerORCiD, Steven Brandt, James Franek, Edmund Schüngel, Mark Koepke, Julian SchulzeORCiD, Thomas MussenbrockORCiDGND, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Deborah O'Connell, Timo Gans, Ihor Korolov, Aranka Derzsi, Zoltán Donkó
DOI:https://doi.org/10.1109/PLASMA.2016.7534353
ISBN:978-1-4673-9601-1
Title of the source (English):2016 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS), Banff, Canada, June 19-23, 2016
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2016
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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