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The Effect of Realistic Heavy Particle Induced Secondary Electron Emission Coefficients on the Electron Power Absorption Dynamics in Single- and Dual-Frequency CCPs

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Metadaten
Author: Manaswi Daksha, Aranka Derzsi, Sebastian Wilczek, Jan TrieschmannORCiD, Thomas MussenbrockORCiDGND, Peter AwakowiczGND, Zoltán Donkó, Julian SchulzeORCiD
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6595/aa7c88
ISSN:1361-6595
ISSN:0963-0252
Title of the source (English):Plasma Sources Science and Technology
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2017
Volume/Year:26
Issue number:8
Number of pages:13
First Page:085006
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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