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Scanning Probe studies of the electrical activity at interfaces formed by silicon wafer direct bonding

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Metadaten
Author: Markus Ratzke, Xuegong Yu, Oleg F. Vyvenko, Jürgen ReifGND, Martin Kittler, Manfred Reiche
ISSN:1610-1634
Title of the source (English):Physica Status Solidi C
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2007
Volume/Year:4
Issue number:8
First Page:2893
Last Page:3897
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Experimentalphysik / Materialwissenschaften
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