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Electrostatic all-silicon MEMS audio transducer for in-ear audio applications – acoustic measurements and modelling approach

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Metadaten
Author: Lutz Ehrig, Hermann Schenk, Franziska Wall, Anton MelnikovORCiD, Michael Stolz, Sergiu Langa, Bert Kaiser, Holger Conrad
DOI:https://doi.org/10.18154/RWTH-CONV-239893
Title of the source (English):23rd International Congress on Acoustics, Aachen, Germany, 2019
Document Type:Conference publication not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2019
Number of pages:6
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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