CMUT fabrication based on a thick buried oxide layer
Author: | Mario Kupnik, Srikant Vaithilingam, Kazutoshi Torashima, Ira O. Wygant, Butrus T. Khuri-Yakub |
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ISBN: | 978-1-4577-0381-2 |
Title of the source (English): | IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings |
Publisher: | IEEE |
Place of publication: | Piscataway, NJ |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | English |
Year of publication: | 2010 |
First Page: | 547 |
Last Page: | 550 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik |