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Nanoscale topography of thermally-grown oxide films at right-angled convex corners of silicon

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Metadaten
Author: Ali Fatih Sarioglu, Mario Kupnik, Srikant Vaithilingam, Butrus T. Khuri-Yakub
DOI:https://doi.org/10.1149/2.005202jes
ISSN:0013-4651
Title of the source (English):Journal of The Electrochemical Society
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2012
Volume/Year:159
Issue number:2
First Page:79
Last Page:84
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik
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