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Optical position feedback for electrostatically driven MOEMS-scanners

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Metadaten
Author: Andreas Tortschanoff, M. Baumgart, A. Frank, Michael Wildenhain, Thilo Sandner, Harald SchenkORCiD, Andreas Kenda
URL:http://dx.doi.org/10.1117/12.907761
ISBN:978-0-8194-8930-2
Title of the source (English):SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012
Publisher:SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Place of publication:Bellingham
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2012
Contributing Corporation:Fraunhofer IPMS
Edition:1. Auflage
First Page:82520S-1
Last Page:82520S-8
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 8252
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
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