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Compliant Si nanostructures on SOI for Ge nanoheteroepitaxy – a case study for lattice mismatched semiconductor integration on Si(001)

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Metadaten
Author: Peter Zaumseil, Grzegorz Kozłowski, Yuji Yamamoto, J. Bauer, Markus Andreas Schubert, Tobias U. Schülli, Bernd Tillack, Thomas Schroeder
ISSN:0021-8979
Title of the source (English):Journal of Applied Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2012
Volume/Year:112
Issue number:4
First Page:043506
Last Page:043511
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Halbleitermaterialien
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