MetadatenAuthor: | Aile Tamm, Marianna Kemell, Jekaterina Kozlova, Timo Sajavaara, Massimo TallaridaORCiD, Kaupo Kukli, V. Sammelselg, Mikko Ritala, Markku Leskelä |
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Title of the source (English): | Journal of The Electrochemical Society |
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Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2010 |
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Tag: | Erbium; Oxid-Doped; Zirconium; atomic Layer deposition |
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Volume/Year: | 157 |
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Issue number: | 10 |
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First Page: | G193 |
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Last Page: | G201 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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