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Thermomechanische Simulation des Annealprozesses von großen Siliziumwafern

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Metadaten
Author: Johannes Studener, Arnold Kühhorn
Title of the source (German):Tagungsband, 17. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz 2005, 19. - 20. September 2005, Nürnberg
Publisher:ABAQUS Deutschland GmbH
Place of publication:Aachen [u.a.]
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of publication:2005
Tag:Annealprozess; Siliziumwafer
Faculty/Chair:Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen
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