FE-Simulation des thermischen Aufheizvorganges eines Silizium-Wafers im RTA (Rapid Thermal Anneal) - Prozess
Author: | Johannes Studener, Arnold Kühhorn |
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Title of the source (German): | Tagungsband, 15. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz, 22. - 23. September 2003, Fulda |
Publisher: | ABAQUS Deutschland GmbH |
Place of publication: | Aachen [u.a.] |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of publication: | 2003 |
Tag: | RTA-Prozess; Silizium-Wafer; Simulation |
Faculty/Chair: | Fakultät 3 Maschinenbau, Elektro- und Energiesysteme / FG Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Strukturmechanik und Fahrzeugschwingungen |