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Impact of Defect-Induced Strain on Device Properties

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Author: Manfred Reiche, Martin Kittler, Eckhard Pippel, Hartmut Übensee, Hans Kosina, Alexander Grill, Zlatan Stanojevic, Oskar Baumgartner
DOI:https://doi.org/10.1002/adem.201600736
ISSN:1527-2648
Title of the source (English):Advanced Engineering Materials
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2017
Contributing Corporation:Max-Planck Institute of Microstructure Physics, CIS Research Institute of Microsensorics, Institute of Microelectronics Vienna Austria, Global TCAD Solutions Vienna Austria
Volume/Year:19
Issue number:8
Number of pages:4
Comment:
Art.-Nr. 1600736
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Schaltkreisentwurf
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