Al-oxynitride buffer layer facilities for PrOx/SiC interfaces
Author: | Karsten HenkelORCiDGND, Rakesh Sohal, Dieter SchmeißerORCiD, Carola Schwiertz, Yevgen Burkov, Mohamed Torche |
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Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of publication: | 2007 |
Quelle aus UBICO: | MRS Proceedings 996, 2007, H05-23 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |