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Al-oxynitride buffer layer facilities for PrOx/SiC interfaces

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Metadaten
Author: Karsten HenkelORCiDGND, Rakesh Sohal, Dieter SchmeißerORCiD, Carola Schwiertz, Yevgen Burkov, Mohamed Torche
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2007
Quelle aus UBICO:MRS Proceedings 996, 2007, H05-23
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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