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Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement

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Metadaten
Author: Sergiu Langa, Holger Conrad, Harald SchenkORCiD, Michael Stolz
Document Type:Patent
Language:German
Year of publication:2014
Contributing Corporation:Fraunhofer IPMS
Patent number:DE 10 2014 225 934.7
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
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