Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement
Author: | Sergiu Langa, Holger Conrad, Harald SchenkORCiD, Michael Stolz |
---|---|
Document Type: | Patent |
Language: | German |
Year of publication: | 2014 |
Contributing Corporation: | Fraunhofer IPMS |
Patent number: | DE 10 2014 225 934.7 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme |