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CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren (CMOS-compatible electrostatic actuators

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Metadaten
Author: Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Bert Kaiser, Sergiu Langa, Michael Stolz, Harald SchenkORCiD
ISBN:978-3-8007-4491-6
Title of the source (German):MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, Germany, 23.-25. Oktober 2017
Publisher:VDE-Verlag
Place of publication:Berlin [u.a.]
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2017
First Page:219
Last Page:222
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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