• search hit 17 of 26
Back to Result List

Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al₃O₃ layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Vladimir Kolkovsky, R. Stübner, Sergiu Langa, U. Wende, Bert Kaiser, Holger Conrad, Harald SchenkORCiD
DOI:https://doi.org/10.1016/j.sse.2016.06.005
ISSN:0038-1101
Title of the source (English):Solid-State Electronics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:123
First Page:89
Last Page:95
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.