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Luminescence of Crystal Defects Formed after Annealing of Phosphorus Implanted Silicon

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Metadaten
Author: Tzanimir V. ArguirovGND, Martin Kittler, Winfried Seifert, Jürgen ReifGND, D. Bolze, K.-E. Ehwald, Peter Formanek
ISSN:1012-0394
Title of the source (English):Solid State Phenomena
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2004
Volume/Year:95-96
First Page:289
Last Page:296
Comment:
Proceedings of the GADEST 2003
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Experimentalphysik / Materialwissenschaften
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