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Distribution and properties of oxide precipitates in annealed nitrogen doped 300 mm Si wafers

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Metadaten
Author: V. D. Akhmetov, H. Richter, Winfried Seifert, O. Lysytskiy, R. Wahlich, T. Müller, Manfred Reiche
ISSN:1286-0042
ISSN:1286-0050
Title of the source (English):European Physics Journal of Applied Physics
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2004
Volume/Year:27
Issue number:1-3
First Page:159
Last Page:161
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Experimentalphysik / Materialwissenschaften
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