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Technological aspects of a new micro-electro-mechanical actuation principle: nano e-drive

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Metadaten
Author: Sergiu Langa, Holger Conrad, Bert Kaiser, Michael Stolz, Matthieu Gaudet, Sebastian Uhlig, Klaus Schimmanz, Harald SchenkORCiD
DOI:https://doi.org/10.1007/s00542-017-3360-6
ISSN:1432-1858
Title of the source (English):Microsystem Technologies
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2017
Volume/Year:23
Issue number:1
First Page:5697
Last Page:5708
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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