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Micromechanical devices with mechanical actuators

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Metadaten
Author: Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Harald SchenkORCiD, Sebastian Uhlig
URL:https://www.freepatentsonline.com/11639718.html
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2023
Patent number:US 11,639,718
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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