• search hit 6 of 8
Back to Result List

Test Method for Contactless On-wafer MEMS Characterization and Production Monitoring

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Sarah Linz, Florian Oesterle, Stefan Lindner, Sebastian Mann, Robert Weigel, Alexander Kölpin
DOI:https://doi.org/10.1109/TMTT.2016.2612664
ISSN:0018-9480
ISSN:1557-9670
Title of the source (English):IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:64
Issue number:11
First Page:3918
Last Page:3926
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.