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Novel Low-k Polycyanurates for Integrated circuit (IC) Metallization

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Verfasserangaben: Knut Schulze, U. Schuldt, Olaf Kahle, Stefan E. Schulz, M. Uhlig
DOI:https://doi.org/10.1016/j.mee.2005.07.016
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Englisch
Erscheinungsjahr:2005
Quelle aus UBICO:Microelectronic Engineering 82 (2005) 3-4, S. 356-361, 0167-9317
Fakultät / Fachgebiet:Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / FG Polymermaterialien
Name der Einrichtung zum Zeitpunkt der Publikation:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Polymermaterialien
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