Novel Low-k Polycyanurates for Integrated circuit (IC) Metallization
Author: | Knut Schulze, U. Schuldt, Olaf Kahle, Stefan E. Schulz, M. Uhlig |
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DOI: | https://doi.org/10.1016/j.mee.2005.07.016 |
Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of publication: | 2005 |
Quelle aus UBICO: | Microelectronic Engineering 82 (2005) 3-4, S. 356-361, 0167-9317 |
Faculty/Chair: | Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / FG Polymermaterialien |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Polymermaterialien |