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AlN/SiO2/Si3N4/Si(100) based CMOS compatible surface acoustic wave filter with -12.8 dB minimum insertion loss

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Metadaten
Author: Udo Christian Kaletta, Christian Wipf, Mirko Fraschke, Dirk Wolansky, Markus Andreas Schubert, Thomas Schroeder, Christian WengerORCiD
DOI:https://doi.org/10.1109/TED.2015.2395443
ISSN:0018-9383
Title of the source (English):IEEE Transactions on Electron Devices
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2015
Volume/Year:62
Issue number:3
First Page:764
Last Page:768
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
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