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RP-CVD growth of isolated Ge crystals and suspended layers on micrometric Si pillars

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Author: Oliver Skibitzki, Giovanni CapelliniORCiD, Yuji Yamamoto, Peter Zaumseil, Markus Andreas Schubert, Thomas Schröder, Andrea Ballabio, Roberto Bergamaschini, Marco Salvalaglio, Leo Miglio, Francesco Montalenti
DOI:https://doi.org/10.1021/acsami.6b07694
ISSN:1944-8244
ISSN:1944-8252
Title of the source (English):ACS Applied Materials and Interfaces
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:8
Issue number:39
First Page:26374
Last Page:26380
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
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