MetadatenAuthor: | Heinrich Grüger, Jens Knobbe, Tino Pügner, Harald SchenkORCiD |
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DOI: | https://doi.org/10.1117/12.2004215 |
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ISBN: | 978-0-8194-9385-9 |
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Title of the source (English): | SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XII, San Francisco, 2013 |
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Publisher: | SPIE |
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Place of publication: | Bellingham, Wash. |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2013 |
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Contributing Corporation: | Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS |
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Edition: | 1. Auflage |
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First Page: | 86160L-1 |
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Last Page: | 86160L-13 |
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Series ; volume number: | Proceedings of SPIE ; 8616 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme |
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