Micromechanical element
Author: | Holger Conrad, Harald SchenkORCiD, Christian Schirrmann, Fabian Zimmer, Jan-Uwe Schmidt, Thilo Sandner |
---|---|
Document Type: | Patent |
Language: | English |
Year of publication: | 2015 |
Patent number: | US 9164277 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |