• search hit 46 of 77
Back to Result List

MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid, and method for producing the same

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Harald SchenkORCiD, Holger Conrad
URL:https://www.freepatentsonline.com/11554950.html
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2023
Patent number:US 11,554,950
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.