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Ion-sensitive structure and method for producing the same

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Metadaten
Author: Eberhard Kurth, Christian Kunath, Harald SchenkORCiD
URL:https://register.dpma.de/DPMAregister/pat/register?AKZ=1020152049213
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2023
Patent number:DE 10 2015 204 921
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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