MetadatenAuthor: | Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Bert Kaiser, Sergiu Langa, Michael Stolz, Harald SchenkORCiD |
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ISBN: | 978-3-8007-4491-6 |
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Title of the source (German): | MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, Germany, 23.-25. Oktober 2017 |
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Publisher: | VDE-Verlag |
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Place of publication: | Berlin [u.a.] |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2017 |
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First Page: | 219 |
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Last Page: | 222 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |
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