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CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen

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Metadaten
Author: Holger Conrad, Lutz Ehrig, Bert Kaiser, Hermann Schenk, David Schuffenhauer, Michael Stolz, Matthieu Gaudet, Harald SchenkORCiD
ISBN:978-3-939296-13-3
Title of the source (German):Tagungsband, DAGA 2018, 44. Deutsche Jahrestagung für Akustik, 19.-22. März 2018, München
Publisher:Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. (DEGA)
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of publication:2018
First Page:892
Last Page:894
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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