The search result changed since you submitted your search request. Documents might be displayed in a different sort order.
  • search hit 3 of 16
Back to Result List

Vertical comb drive microscanners for beam steering, linear scanning and laser projection applications

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Denis Jung, Thilo Sandner, David Kallweit, Harald SchenkORCiD
URL:http://dx.doi.org/10.1117/12.906690
ISBN:978-0-8194-8930-2
Title of the source (English):SPIE Conference MOEMS and Miniaturized Systems XI, San Francisco, 2012
Publisher:SPIE, The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Place of publication:Bellingham
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2012
Contributing Corporation:Fraunhofer IPMS
Edition:1. Auflage
First Page:82520U-1
Last Page:82520U-10
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 8252
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.