MetadatenAuthor: | Thilo Sandner, S. Kimme, Thomas Grashoff, U. Todt, A. Graf, C. Tulea, A. Lenenbach, Harald SchenkORCiD |
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ISBN: | 978-0-8194-9890-8 |
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Title of the source (English): | MOEMS and miniaturized systems XIII, 3 - 6 February 2014, San Francisco, California, United States |
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Publisher: | SPIE Press |
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Place of publication: | Bellingham |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2014 |
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Contributing Corporation: | Fraunhofer IPMS |
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First Page: | 897705-1 |
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Last Page: | 897705-11 |
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Series ; volume number: | Proceedings of SPIE ; 8977 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme |
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