Pulsed laser deposition of hafnium oxide on silicon
Author: | Mathias Kappa, Markus Ratzke, Jürgen ReifGND |
---|---|
Document Type: | Scientific journal article not peer-reviewed |
Language: | English |
Year of publication: | 2005 |
Contributing Corporation: | IHP/BTU JointLab Cottbus |
Quelle aus UBICO: | Solid State Phenomena 108-109(2005) S. 723-728, 1012-0394 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Experimentalphysik und funktionale Materialien |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Experimentalphysik / Materialwissenschaften |