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Local anodic oxidation by atomic force microscopy for nano-Raman strain measurements on silicon-germanium thin films

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Metadaten
Author: Krzysztof Kolanek, Peter Hermann, Piotr T. Dudek, Teodor Gotszalk, Dmytro Chumakov, Martin Weisheit, Michael Hecker, Ehrenfried ZschechORCiD
ISSN:0040-6090
Title of the source (English):Thin Solid Films
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2010
Tag:measurements; microscope; oxidation; thin films
Volume/Year:518
Issue number:12
First Page:3267
Last Page:3272
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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