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Ion dynamics in capacitively coupled argon–xenon discharges

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Author: Maximilian Klich, Sebastian Wilczek, Jesper Frederikus Jacobus Janssen, Ralf Peter Brinkmann, Thomas MussenbrockORCiDGND, Jan TrieschmannORCiD
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6595/ac02b0
ISSN:1361-6595
Title of the source (English):Plasma Sources Science and Technology
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2021
Volume/Year:30
Issue number:6
Article number:065019
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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