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Spektro-Mikroskopie auf multikristallinem Silizium

  • Es werden spektro-mikroskopische Untersuchungen an multikristallinem Silizium (mc-Si) vorgestellt, einem aussichtsreichen Material für die Herstellung preiswerter Solarzellen. Dazu wird ein Photoemissions- Elektronenmikroskop (PEEM) ausgestattet mit einem zusätzlichen Energieanalysator für Elektronen (µESCA) genutzt. Bei Verwendung eines Synchrotrons als Anregungsquelle ist es so möglich, sowohl Absorbtions-Spektren (NEXAFS) als auch Photoelektronen-Spektren (PES) mit Ortsauflösung zu erhalten. Dabei wird gezeigt, dass das natürliche Oxid zur Untersuchung der morphologie-abhängigen Oberflächenpotentiale nicht entfernt werden muss. Des Weiteren wird die Verteilung von Ca- und Na-Ausscheidungen, die auf dem mc-Si gefunden wurden, durch ortsaufgelöstes NEXAFS bzw. PES dargestellt. Für den Photoemissions-Prozess des mc-Si im PEEM wird ein Modell aufgestellt, welches Photoemission mit einer Quecksilberdampflampe (hνmax = 4,9 eV) erklärt.

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Metadaten
Author: Patrick Hoffmann, Ricardo Pablo Mikalo, Dieter SchmeißerORCiD, Martin Kittler
URL:http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2000/conference/regensburg/part/hl/session/16/contribution/10?lang=en
Title of the source (German):Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
Publisher:Deutsche Physikalische Gesellschaft
Place of publication:Bad Honnef
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of publication:2000
Tag:Photoemissionselektronenspektroskopie (PEEM); Röntgen-Absorptionsspektroskopie (XAS, NEXAFS); Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS); Solarzellen; mc-Si
Series ; volume number:Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft ; Reihe 6, Band 35
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
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