Spektro-Mikroskopie auf multikristallinem Silizium
- Es werden spektro-mikroskopische Untersuchungen an multikristallinem Silizium (mc-Si) vorgestellt, einem aussichtsreichen Material für die Herstellung preiswerter Solarzellen. Dazu wird ein Photoemissions- Elektronenmikroskop (PEEM) ausgestattet mit einem zusätzlichen Energieanalysator für Elektronen (µESCA) genutzt. Bei Verwendung eines Synchrotrons als Anregungsquelle ist es so möglich, sowohl Absorbtions-Spektren (NEXAFS) als auch Photoelektronen-Spektren (PES) mit Ortsauflösung zu erhalten. Dabei wird gezeigt, dass das natürliche Oxid zur Untersuchung der morphologie-abhängigen Oberflächenpotentiale nicht entfernt werden muss. Des Weiteren wird die Verteilung von Ca- und Na-Ausscheidungen, die auf dem mc-Si gefunden wurden, durch ortsaufgelöstes NEXAFS bzw. PES dargestellt. Für den Photoemissions-Prozess des mc-Si im PEEM wird ein Modell aufgestellt, welches Photoemission mit einer Quecksilberdampflampe (hνmax = 4,9 eV) erklärt.
Author: | Patrick Hoffmann, Ricardo Pablo Mikalo, Dieter SchmeißerORCiD, Martin Kittler |
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URL: | http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2000/conference/regensburg/part/hl/session/16/contribution/10?lang=en |
Title of the source (German): | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft |
Publisher: | Deutsche Physikalische Gesellschaft |
Place of publication: | Bad Honnef |
Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | German |
Year of publication: | 2000 |
Tag: | Photoemissionselektronenspektroskopie (PEEM); Röntgen-Absorptionsspektroskopie (XAS, NEXAFS); Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS); Solarzellen; mc-Si |
Series ; volume number: | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft ; Reihe 6, Band 35 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |