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Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen

  • In der Arbeitsgruppe integrierte Siliziumsysteme des Fraunhofer IPMS werden am Standort Cottbus innovative Anwen-dungen eines neuartigen nanoskopischen elektrostatischen Antriebs (nanoskopic electrostatic drive – NED) untersucht. Eine der vielversprechendsten Anwendungen sind Lautsprecher. Vollständig aus Silizium gefertigte MEMS-Lautsprecher auf Basis von NED-Biegeaktoren werden vor den akustischen Messungen mechanisch und elektrisch cha-rakterisiert. Beidseitig eingespannte elektrostatisch betriebene in-plane NED-Aktoren werden dabei über einen Fre-quenzbereich von 20 Hz bis 20 kHz angeregt. Dabei sind die Strukturen oft verdeckt, was ihre Charakterisierung er-schwert. Es werden zerstörungsfreie optische Methoden präsentiert, mit deren Hilfe die Bestimmung der mechanischen Schwingungseigenschaften einzelner Aktoren ermöglicht wird sowie die Beweglichkeit im verdeckten Zustand nach-gewiesen werden kann.

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Metadaten
Author: Michael Stolz, Andreas Mrosk, Bert Kaiser, Sergiu Langa, Lutz Ehrig, Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Harald SchenkORCiD
URL:https://www.ipms.fraunhofer.de/de/events/2019/mst-kongress.html
Title of the source (German):MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019
Publisher:VDE-Verlag
Document Type:Conference publication peer-reviewed
Language:German
Year of publication:2019
First Page:366
Last Page:369
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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