MetadatenAuthor: | Paul S. Ho, Ehrenfried ZschechORCiD, Dieter SchmeißerORCiD, Moritz Andreas Meyer, Rene Huebner, Meike Hauschildt, Lijuan Zhang, Martin Gall, Matthias Kraatz |
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Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2010 |
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Tag: | interconnects; microstructure; scaling |
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Quelle aus UBICO: | International journal of materials research 101(2010)2, S. 216-227, 0179-4841 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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