Band alignment of high-k/SiO2/Si stacks incorporating Zr and Al oxides prepared by atomic layer deposition
Author: | Łukasz Starzyk, Massimo TallaridaORCiD, Dieter SchmeißerORCiD |
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Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | English |
Year of publication: | 2010 |
Quelle aus UBICO: | Proceedings of 2010 International Students and Young Scientists Workshop "Photonics and Microsystems" : International Optoelectronics Workshop : Szklarska Poreba, Poland, 25-27 June, 2010 , S.75 - 78, 978-1-4244-8324-2 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |