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Development, characterization and application of compact spectrometers based on MEMS with in-plane capacitive drives

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Metadaten
Author: Andreas Kenda, Martin Kraft, Andreas Tortschanoff, Werner Scherf, Thilo Sandner, Harald Schenk, Stephan Luettjohann, Apolline Simon
ISBN:978-1-62841-038-9
Title of the source (English):Next-generation spectroscopic technologies VII, 5 - 6 May 2014, Baltimore, Maryland, United States
Publisher:SPIE
Place of publication:Bellingham, Wash.
Document Type:Scientific journal article not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2014
First Page:910102-1
Last Page:910102-10
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 9101
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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