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Atomic Layer Deposition and Characterization of Erbium Oxide-Doped Zirconium Oxid Thin Films

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Metadaten
Author: Aile Tamm, Marianna Kemell, Jekaterina Kozlova, Timo Sajavaara, Massimo TallaridaORCiD, Kaupo Kukli, V. Sammelselg, Mikko Ritala, Markku Leskelä
Title of the source (English):Journal of The Electrochemical Society
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2010
Tag:Erbium; Oxid-Doped; Zirconium; atomic Layer deposition
Volume/Year:157
Issue number:10
First Page:G193
Last Page:G201
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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