Growth of TiO2 with Thermal and Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
Author: | Massimo TallaridaORCiD, Daniel Friedrich, Matthias Städter, Marcel Michling, Dieter SchmeißerORCiD |
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ISSN: | 1533-4880 |
Title of the source (English): | Journal of Nanoscience and Nanotechnology |
Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
Language: | English |
Year of publication: | 2011 |
Volume/Year: | 11 |
Issue number: | 9 |
First Page: | 8049 |
Last Page: | 8053 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |