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Growth of TiO2 with Thermal and Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

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Metadaten
Author: Massimo TallaridaORCiD, Daniel Friedrich, Matthias Städter, Marcel Michling, Dieter SchmeißerORCiD
ISSN:1533-4880
Title of the source (English):Journal of Nanoscience and Nanotechnology
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2011
Volume/Year:11
Issue number:9
First Page:8049
Last Page:8053
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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